星期六, 20 12 月

陸晶圓廠傳提升 DUV 舊型設備效率 提高先進晶片產量

中國大陸半導體製造業者據傳將艾司摩爾舊型極紫外光微影(DUV)設備的效率提高,使當地晶圓廠提高先進晶片產量。

由於美國及荷蘭管制晶片製造設備對中國出口,使許多中國晶圓廠依賴艾司摩爾舊型的Twinscan NXT:1980i系統,來製造開發人工智慧(AI)系統所需的7奈米晶片。

據熟悉這項科技的人士指出,中國晶圓廠已經從次級市場取得所需的組件 ,包括一整套升級的「台階(stage,亦即供晶圓使用的機具平台)」,以及確保晶片的每一層電路都能更精準連結所需的鏡頭與偵測器。目前並不清楚中芯國際與華為等使用舊型ASML設備的首要晶片廠,是否已經取得進一步的組件升級。

依現行的出口管制措施,艾司摩爾可以對中國客戶現有的設備提供工程支援,但不得為「疊對(overlay)」、也就是定位DUV機具的精確度提供升級服務,也不得改變機具使生產速度(throughput)加快1%以上。

中國大陸晶圓廠一直使用多次DUV曝光技術,亦即「多重圖案化(multi-patterning)」方法,生產先進晶片;但這種方法須拉長機具的使用時間,使成本提高及晶片「良率」下降。

多位熟悉此事的人士表示,大陸晶圓廠已經從海外取得組件並運往國內,而且由第三方公司提供現場工程服務,以提高現有DUV機具的效率。組件升級後,已使晶圓廠受到設備限制的影響縮小,提高AI晶片及先進手機晶片的產量。

TechInsights分析集團本月表示,中芯國際持續將「多重圖案化」科技的邊界,推進到比7奈米更先進的製程;而且華為最新的麒麟9030處理器已經顯現中國最先進的晶片程序。TechInsights策略長Dan Kim表示,「中國晶圓廠在無法取得最佳設備的情況下,已經能夠達到亮麗的成績」。

美國工業與安全局(BIS)正準備使現行的出口管制法規更加嚴格;不過並不清楚在川普政府暗示美─中貿易戰和解之後,BIS是否還會如此。 $(document).ready(function () {nstockStoryStockInfo();});

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